設(shè)計(jì)這些布局需要高精度。因此有足夠的分辨率和一種可能性高縮放requiered。layouteditor分辨率可設(shè)置在很寬的范圍內(nèi)，通常設(shè)置為1納米。
一個(gè)更高的分辨率是沒有意義的atomar結(jié)構(gòu)由于。這個(gè)決議的layouteditor可以繪制元素達(dá)4米。這是足夠的IC / MEMS的延伸通常小于0.1米。MEMS / IC產(chǎn)品多層次進(jìn)行。
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